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1200℃單溫區(qū)旋轉管式爐，爐子用電動升降機可以傾斜到30° ，直流電機驅動石英管，以0 - 7 RPM旋轉
1400℃單溫區(qū)管式爐，99高純剛玉管內加熱，兩端不銹鋼法蘭密封，爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型， 硅鉬棒兩側加熱，封閉式，雙層結構
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